作者：安森美(onsemi)汽車(chē)感知部總監(jiān)Bahman Hadji

人們普遍認(rèn)為，先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)和自動(dòng)駕駛(AD)之所以成功，是因?yàn)樗鼈兛梢杂行У馗袦y(cè)車(chē)輛周?chē)沫h(huán)境，并將感測(cè)到的信息輸入實(shí)現(xiàn)自動(dòng)導(dǎo)航的算法中?？紤]到在生死攸關(guān)的情況下對(duì)感測(cè)技術(shù)的絕對(duì)依賴(lài)性，系統(tǒng)通常使用多個(gè)傳感器模式，并實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)融合，以增強(qiáng)彼此，并提供冗余。這樣每種技術(shù)都能發(fā)揮其優(yōu)勢(shì)，并提供更好的組合解決方案。

在未來(lái)ADAS和AD車(chē)輛中，傳感器主要有三種模式，分別是圖像傳感器、雷達(dá)和LiDAR。每一種傳感器都有自己的優(yōu)勢(shì)，它們可以組成一個(gè)完整的傳感器套件，通過(guò)傳感器融合并提供數(shù)據(jù)使自主感知算法能夠做出決策，為場(chǎng)景中的每一個(gè)點(diǎn)提供顏色、強(qiáng)度、速度和深度信息。

圖1：傳感器融合利用每種模式的優(yōu)勢(shì)提供有關(guān)車(chē)輛周?chē)h(huán)境的完整信息。

盡管早在幾十年前就出現(xiàn)了利用光測(cè)量距離的概念，但在這三種主要模式中，LiDAR是適用于大眾市場(chǎng)的新興商業(yè)化技術(shù)。由于需要完整傳感器套件的自動(dòng)系統(tǒng)激增，汽車(chē)LiDAR市場(chǎng)將呈現(xiàn)驚人的增長(zhǎng)，預(yù)計(jì)從2020年的3,900萬(wàn)美元增長(zhǎng)至2025年的17.5億美元(Yole Développement，2020年)。這是一個(gè)巨大的商機(jī)，專(zhuān)注于LiDAR技術(shù)的公司多達(dá)上百家，到2020年對(duì)這些公司的累計(jì)投資額已超過(guò)15億美元，而且這一數(shù)據(jù)源自2020年底多家LiDAR公司發(fā)起SPAC首次公開(kāi)募股潮之前。但當(dāng)有這么多公司投身于同一項(xiàng)技術(shù)，而且這項(xiàng)技術(shù)基于完全不同的光波長(zhǎng)時(shí)(最突出的示例就是905nm和1550nm)，最終總會(huì)有一種技術(shù)勝出，并整合其他技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。就像我們一次次看到的那樣，網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以太網(wǎng)、視頻技術(shù)VHS。

對(duì)于LiDAR技術(shù)用戶(hù)而言，即汽車(chē)制造商以及設(shè)計(jì)和制造客運(yùn)和貨運(yùn)自動(dòng)機(jī)器人車(chē)輛的公司，他們首先要考慮的是自己的需求。最終，這些公司希望供應(yīng)商提供高度可靠的低成本LiDAR傳感器，同時(shí)滿足低反射率物體的測(cè)距和檢測(cè)性能規(guī)范要求。盡管所有工程師都有各自強(qiáng)烈的主張，但如果供應(yīng)商能夠以合適的成本滿足性能和可靠性要求，這些公司則可能并不知道實(shí)施的是何種技術(shù)。正因如此，才引起了本文旨在幫助理清的根本性辯論：哪種波長(zhǎng)將在汽車(chē)LiDAR應(yīng)用中占據(jù)主導(dǎo)地位？

LiDAR概述

要解決這個(gè)問(wèn)題，首先需要了解LiDAR系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。LiDAR系統(tǒng)有不同的構(gòu)造。相干LiDAR，一種被稱(chēng)為調(diào)頻連續(xù)波(FMCW)的LiDAR，將發(fā)射的激光信號(hào)與反射光混合，以計(jì)算物體的距離和速度。雖然FMCW具有一定的優(yōu)勢(shì)，但與最常見(jiàn)的LiDAR方法“直接飛行時(shí)間(dToF)LiDAR”相比，它仍屬于不太常用的方法。該技術(shù)測(cè)量超短光脈沖從照明光源發(fā)出，到達(dá)物體后反射回到傳感器所用的時(shí)間，達(dá)到測(cè)距的目的。它通過(guò)有關(guān)時(shí)間、速度和距離的簡(jiǎn)單數(shù)學(xué)公式，利用光速來(lái)直接計(jì)算與物體的距離。盡管波長(zhǎng)的選擇主要影響發(fā)射和接收功能，但典型的dToF LiDAR系統(tǒng)有六大硬件功能。

圖2：典型dToF系統(tǒng)框圖，綠色部分代表安森美產(chǎn)品的一些重點(diǎn)領(lǐng)域。

表1顯示了各種LiDAR制造商列表，從知名的一級(jí)汽車(chē)供應(yīng)商到世界各地的初創(chuàng)公司。市場(chǎng)報(bào)告和公開(kāi)資料表明，絕大多數(shù)公司的LiDAR在近紅外(NIR)波長(zhǎng)下工作，而不是短波紅外(SWIR)波長(zhǎng)。此外，雖然專(zhuān)注于FMCW的SWIRLiDAR供應(yīng)商只能使用相應(yīng)波長(zhǎng)，但大多數(shù)采用直接飛行時(shí)間實(shí)現(xiàn)的供應(yīng)商都可以選擇使用NIR波長(zhǎng)來(lái)構(gòu)建系統(tǒng)，同時(shí)還能夠利用其現(xiàn)有的IP相關(guān)功能，如波束控制和信號(hào)處理。

*上述列表并非詳盡無(wú)遺，數(shù)據(jù)來(lái)源Yole、IHS Markit和公開(kāi)資料

表1使用NIR和SWIR波長(zhǎng)的LiDAR制造商列表

鑒于大多數(shù)制造商(而不是全部)都已選擇NI波長(zhǎng)，他們是如何做出這一決定的？他們需要考慮的影響有哪些？本文重點(diǎn)討論與構(gòu)成LiDAR組件的光和半導(dǎo)體材料性質(zhì)有關(guān)的基礎(chǔ)物理學(xué)知識(shí)。

在LiDAR系統(tǒng)中，激光發(fā)射的光子到達(dá)物體后應(yīng)反射回來(lái)，然后被探測(cè)器接收。在此過(guò)程中，這些光子必須與來(lái)自太陽(yáng)的周?chē)h(huán)境光子競(jìng)爭(zhēng)。通過(guò)觀察太陽(yáng)輻射光譜，并考慮大氣吸收因素，我們發(fā)現(xiàn)某些波長(zhǎng)的輻照度會(huì)下降，因而減少作為系統(tǒng)噪聲存在的光子量。905nm波長(zhǎng)下的太陽(yáng)輻照度是1550nm的3倍，這意味著NIR系統(tǒng)必須應(yīng)對(duì)更多干擾傳感器的噪聲。但這只是選擇LiDAR系統(tǒng)波長(zhǎng)時(shí)需要考慮的其中一個(gè)因素。

圖4：大氣對(duì)光的吸收會(huì)產(chǎn)生明顯的峰值。

傳感器

LiDAR系統(tǒng)中負(fù)責(zé)感測(cè)光子的組件為不同類(lèi)型的光電探測(cè)器，因此必須說(shuō)明為什么它們可以根據(jù)待檢測(cè)波長(zhǎng)而采用不同的半導(dǎo)體材料制成。在半導(dǎo)體中，帶隙可將價(jià)帶和導(dǎo)帶分開(kāi)，而光子可提供能量，以幫助電子克服帶隙問(wèn)題，從而使半導(dǎo)體導(dǎo)電，繼而產(chǎn)生光電流。每個(gè)光子的能量與其波長(zhǎng)有關(guān)，而半導(dǎo)體的帶隙與其靈敏度有關(guān)，這就解釋了為什么所需半導(dǎo)體材料取決于待檢測(cè)光的波長(zhǎng)。硅是最常見(jiàn)也是制造成本最低的半導(dǎo)體，可響應(yīng)高達(dá)1000nm左右的可見(jiàn)光和NIR波長(zhǎng)。為檢測(cè)SWIR范圍以外的波長(zhǎng)，可對(duì)更稀有的III/V族半導(dǎo)體進(jìn)行合金化，使InGaAs之類(lèi)的材料能夠檢測(cè)1000nm至2500nm的波長(zhǎng)。

早期的LiDAR將PIN光電二極管用作傳感器。PIN光電二極管本身沒(méi)有增益，因此無(wú)法輕松檢測(cè)到微弱信號(hào)。雪崩光電二極管(APD)是目前LiDAR中最常用的傳感器類(lèi)型，可提供適當(dāng)?shù)脑鲆?。然而，APD也需要像PIN光電二極管一樣在線性模式下工作，以集成光子到達(dá)信號(hào)，而且在需要非常高偏置電壓的情況下也會(huì)受到制件質(zhì)地不均的影響。LiDAR中開(kāi)始日益廣泛使用的最新型傳感器以單光子雪崩二極管(SPAD)為基礎(chǔ)，SPAD具有非常大的增益，并且能夠從每個(gè)檢測(cè)到的光子中產(chǎn)生可測(cè)量的電流輸出。硅光電倍增器(SiPM)是硅基SPAD陣列，其額外優(yōu)勢(shì)就是能夠通過(guò)觀察所生成信號(hào)的振幅來(lái)區(qū)分單個(gè)光子和多個(gè)光子。

圖5：LiDAR中用于檢測(cè)信號(hào)的不同光電探測(cè)器類(lèi)型

回到波長(zhǎng)這個(gè)話題，所有這些類(lèi)型的光電探測(cè)器都可以采用硅(用于NIR探測(cè))或III/V族半導(dǎo)體(用于SWIR探測(cè))。另一方面，可制造性和成本是技術(shù)可行性的關(guān)鍵，且CMOS硅代工廠可實(shí)現(xiàn)此類(lèi)傳感器的低成本、批量生產(chǎn)。正因如此，LiDAR在實(shí)現(xiàn)更高性能的基礎(chǔ)上逐漸開(kāi)始采用SiPM。盡管存在適用于SWIR的APD和SPAD，但由于未采用硅基處理器，所以很難將它們與讀出邏輯集成在一起。最后，由于針對(duì)SWIR的III/V基SPAD陣列和光電倍增器(與SiPM相似)尚未實(shí)現(xiàn)商業(yè)化，所以生態(tài)系統(tǒng)更適用于NIR波長(zhǎng)。

激光器

光子生成是另一個(gè)完全不同的流程。半導(dǎo)體P-N結(jié)作為增益介質(zhì)可用于制造激光器；這可通過(guò)泵送的方式使電流通過(guò)結(jié)，在原子進(jìn)入較低能帶時(shí)引起光子共振發(fā)射，從而產(chǎn)生相干激光束輸出來(lái)實(shí)現(xiàn)。半導(dǎo)體激光器基于直接帶隙材料(如GaAs和InP)，與間接帶隙材料(硅)相比，這種材料對(duì)于原子進(jìn)入較低能帶時(shí)的光子生成非常有效。

LiDAR使用的兩種主要激光器為：邊緣發(fā)射激光器(EEL)和垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)。與VCSEL相比，EEL的成本更低，輸出效率更高，所以目前使用更廣泛。但EEL在封裝和組裝成陣列方面難度更高，而且還會(huì)受到溫度范圍內(nèi)波長(zhǎng)變化的影響，導(dǎo)致探測(cè)器不得不尋找更寬的光子波長(zhǎng)波段，才能將更多的環(huán)境光子檢測(cè)為噪音。

盡管較新的VCSEL技術(shù)成本更高、功效更低，但由于其光束是從頂部生成的，所以具有封裝簡(jiǎn)單高效的優(yōu)勢(shì)。由于VCSEL的成本將繼續(xù)顯著降低，功效將提高，所以其市場(chǎng)采用率開(kāi)始上升。EEL和VCSEL可用于NIR和SWIR波長(zhǎng)生成，兩者之間的關(guān)鍵區(qū)別在于：NIR波長(zhǎng)可使用GaAs生成，而SWIR波長(zhǎng)則需要使用InGaAsP。大尺寸晶圓廠能幫助降低GaAs激光器成本，從成本和供應(yīng)鏈安全角度來(lái)看，這再一次突出了NIR LiDAR制造商生態(tài)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)。

圖6：LiDAR中使用的不同激光類(lèi)型

激光功率和人眼安全

在討論波長(zhǎng)大辯論時(shí)，必須考慮LiDAR系統(tǒng)對(duì)人眼安全的影響。dToF LiDAR概念涉及以高峰值功率，沿著特定視角將短激光脈沖發(fā)射到場(chǎng)景。站在LiDAR發(fā)射路徑上的行人需確保自己的眼睛不會(huì)被射向自己方向的激光損傷，IEC-60825規(guī)范規(guī)定了不同波長(zhǎng)的光的最大容許照射量。類(lèi)似于可見(jiàn)光的NIR光能夠穿過(guò)角膜到達(dá)人眼的視網(wǎng)膜，而大部分SWIR光在角膜內(nèi)可被吸收，因此照射量更高。

圖7：IEC-60825人眼安全型激光照射量規(guī)范

從性能角度來(lái)看，對(duì)于基于1550nm的系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，能夠輸出高出多個(gè)數(shù)量級(jí)的激光功率是一個(gè)優(yōu)勢(shì)，因?yàn)檫@樣可以發(fā)出更多光子，從而檢測(cè)到更多返回的光子。但更高的激光功率也意味著需要進(jìn)行熱權(quán)衡。需要注意的是，適當(dāng)?shù)娜搜郯踩驮O(shè)計(jì)必須在不考慮波長(zhǎng)的情況下進(jìn)行，同時(shí)必須清楚地考慮每個(gè)脈沖的能量和激光孔徑的大小。對(duì)于基于905nm的LiDAR，可以通過(guò)其中的任意一個(gè)因素來(lái)增加峰值功率，如下圖8所示。

圖8：基于不同光學(xué)器件和激光器參數(shù)的NIR LiDAR人眼安全型激光器設(shè)計(jì)

NIR與SWIR LiDAR系統(tǒng)對(duì)比

上文著重描述能夠輸出的激光功率大小，現(xiàn)在我們繼續(xù)探討所用的傳感器。顯然，可檢測(cè)更微弱信號(hào)的更高性能傳感器可為系統(tǒng)帶來(lái)多方面的益處——能夠?qū)崿F(xiàn)更長(zhǎng)的測(cè)程，或能夠使用更少的激光功率來(lái)實(shí)現(xiàn)相同的測(cè)程。安森美(onsemi)開(kāi)發(fā)了一系列可提高光子探測(cè)效率(PDE)的NIR LiDAR SiPM，PD是指示靈敏度的關(guān)鍵參數(shù)。其新推出的RDM系列傳感器PDE達(dá)到市場(chǎng)領(lǐng)先的18%。

圖9：安森美SiPM的工藝發(fā)展路線圖

為比較NIR dToF LiDAR與SWIR dToF LiDAR的性能，我們利用相同的LiDAR架構(gòu)和不同激光和傳感器參數(shù)的環(huán)境條件進(jìn)行了系統(tǒng)建模。LiDAR架構(gòu)為共軸系統(tǒng)，配有一個(gè)16信道探測(cè)器陣列和一個(gè)遍布整個(gè)視場(chǎng)的掃描機(jī)制，如下圖10所示。該系統(tǒng)模型已通過(guò)硬件驗(yàn)證，使我們能夠準(zhǔn)確估計(jì)LiDAR系統(tǒng)的性能。

圖10：dToF LiDAR傳感器的系統(tǒng)模型

表2：NIR和SWIR系統(tǒng)模型模擬的LiDAR傳感器和激光器參數(shù)

由于使用了PDE較高的InGaAs合金，所以1550nm系統(tǒng)采用更高的激光功率以及更高的PDE傳感器，這樣就可以在我們的系統(tǒng)模擬中實(shí)現(xiàn)更出色的測(cè)距性能。通過(guò)使用傳感器鏡頭(分別對(duì)焦在大約905nm和1550nm)上50nm帶通濾波器過(guò)濾的100klux環(huán)境光系統(tǒng)級(jí)參數(shù)，以30fps、500kHz激光頻率和1ns脈沖寬度進(jìn)行超過(guò)80°的水平0.1°x5°視角掃描，并使用22mm鏡頭直徑，得出如下結(jié)果。

圖11：基于905nm和1550nm的類(lèi)似LiDAR系統(tǒng)的模擬結(jié)果

正如預(yù)期，1550nm系統(tǒng)能夠?qū)Φ头瓷渎饰矬w進(jìn)行更遠(yuǎn)的測(cè)距，99%的測(cè)距概率下可達(dá)到500米。然而，基于905nm的系統(tǒng)仍可以實(shí)現(xiàn)超過(guò)200米的測(cè)距，這表明兩種類(lèi)型的系統(tǒng)在典型環(huán)境條件下都可以達(dá)到汽車(chē)遠(yuǎn)程LiDAR的要求。在雨水或大霧等惡劣環(huán)境條件下時(shí)，SWIR光的吸水性會(huì)使其性能比基于NIR的系統(tǒng)下降得更快，而這是另一個(gè)考慮因素。

成本考慮因素

在廣泛研究LiDAR系統(tǒng)所用技術(shù)以及使用不同波長(zhǎng)的影響之后，現(xiàn)在，我們回到成本考慮因素上。我們之前就解釋過(guò)，用于NIR LiDAR的傳感器采用天然CMOS硅鑄造工藝，這可最大限度地降低半導(dǎo)體的成本。此外，通過(guò)使用代工廠目前已經(jīng)掌握的堆疊芯片技術(shù)，可將CMOS讀出邏輯與傳感器集成到一個(gè)芯片中，這進(jìn)一步壓縮了信號(hào)鏈并降低了成本。

相反，SWIR傳感器使用成本更高的III/V半導(dǎo)體代工廠(如InGaAs)和新型Ge-Si混合技術(shù)，雖然可降低SWIR傳感器成本，并能更輕松地集成讀出邏輯，但即使在技術(shù)成熟后，估計(jì)仍比傳統(tǒng)的CMOS硅貴5倍以上。從激光器方面看，用于制造NIR系統(tǒng)激光器芯片的GaAs晶圓與用于制造SWIR系統(tǒng)激光器芯片的InGaAs晶圓尺寸差異同樣會(huì)導(dǎo)致成本差異，而NIR系統(tǒng)可以使用VCSEL，并且現(xiàn)成的供應(yīng)商更多，這一事實(shí)亦可降低集成成本。

綜合以上因素，IHS Markit進(jìn)行的一項(xiàng)分析調(diào)查(Amsrud，2019)顯示，使用相同類(lèi)型的組件(傳感器或激光器)時(shí)，SWIR系統(tǒng)的成本比NIR系統(tǒng)高10至100倍。2019年，NIR系統(tǒng)傳感器和激光器的平均組件總成本估計(jì)為4~20美元/信道，到2025年將降至2~10美元/信道。相比之下，2019年，SWIR系統(tǒng)傳感器和激光器的平均組件總成本估計(jì)為275美元/信道，到2025年將降至155美元/信道?？紤]到LiDAR系統(tǒng)包含多個(gè)信道，即使使用1D掃描方法，這也會(huì)是一個(gè)巨大的成本差異，因?yàn)槿孕枰褂脝吸c(diǎn)信道的垂直陣列。

表3：成本考慮因素總結(jié)(來(lái)源：IHS Markit)

LiDAR市場(chǎng)動(dòng)態(tài)也不利于SWIR陣營(yíng)。自動(dòng)駕駛市場(chǎng)并未像五年前市場(chǎng)預(yù)期的那樣迅速發(fā)展，而必須使用LiDAR的Level4和Level5自主性系統(tǒng)也還需要幾年才能實(shí)現(xiàn)大規(guī)模部署。同時(shí)，利用LiDAR的工業(yè)和機(jī)器人市場(chǎng)對(duì)成本更加敏感，并且SWIR系統(tǒng)的超高性能優(yōu)勢(shì)并非不可或缺，這些系統(tǒng)制造商沒(méi)有辦法像通常所說(shuō)的那樣通過(guò)增加產(chǎn)量來(lái)降低組件成本。產(chǎn)量增加時(shí)可實(shí)現(xiàn)成本降低，但實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)需要降低成本，這其實(shí)就是“先有雞還是先有蛋”的問(wèn)題。

總結(jié)

在深入研究了這項(xiàng)技術(shù)以及NIR和SWIR系統(tǒng)之間的差異后，當(dāng)今絕大多數(shù)LiDAR系統(tǒng)使用NIR波長(zhǎng)的原因就顯而易見(jiàn)。雖然，對(duì)未來(lái)的展望并不是100%確定的，但顯然，成本和可用性是生態(tài)系統(tǒng)供應(yīng)商的關(guān)鍵考慮因素，由于CMOS硅的技術(shù)優(yōu)勢(shì)和規(guī)模經(jīng)濟(jì)，NIR系統(tǒng)無(wú)疑更具經(jīng)濟(jì)效益。雖然SWIR支持遠(yuǎn)程LiDAR系統(tǒng)，但基于NIR的LiDAR也可以滿足汽車(chē)遠(yuǎn)程測(cè)距需求，同時(shí)在ADAS和AD應(yīng)用所需的短程到中程配置中也表現(xiàn)出色。

目前，基于NIR的LiDAR已經(jīng)在汽車(chē)市場(chǎng)中實(shí)現(xiàn)了大批量生產(chǎn)，這表明該技術(shù)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化并通過(guò)了市場(chǎng)檢驗(yàn)，但整合仍需時(shí)日，且無(wú)論輸贏，都需要經(jīng)歷動(dòng)蕩和調(diào)整。20世紀(jì)之交的汽車(chē)行業(yè)有30家不同的制造商，隨后十年增加至近500家，但僅僅數(shù)年之后，大多數(shù)制造商已經(jīng)銷(xiāo)聲匿跡。預(yù)計(jì)到2030年，LiDAR制造商也會(huì)經(jīng)歷類(lèi)似的發(fā)展歷程。